Plasmabeschichtung 2017-07-21T08:12:48+00:00

Plasmabeschichtung

Unter Plasmabeschichtung bezeichnet man alle plasmagestützten Herstellungsverfahren, bei denen Werkstücke mit dünnen Schichten aus unterschiedlicher Materialien überzogen werden.

  • Was ist Plasma? Der vierte Aggregatzustand …

Unter einem Plasma versteht man ein teilweise ionisiertes Gas. Solch ein ionisiertes Gas kann z.B. in Blitzen, welche in der Natur vorkommen enthalten sein. Da der Plasmazustand durch weitere Energiezufuhr aus dem gasförmigen Aggregatzustand erzeugt werden kann, wird er oft als vierter Aggregatzustand bezeichnet.

Wie funktioniert eine Plasmabeschichtung …

Eine genau bestimmte Menge Gas wird in eine Arbeitskammer eingelassen. Die Energie zur Erzeugung des Plasmas wird durch ein elektromagnetisches Wechselfeld eingebracht. Je nach Plasmabehandlungsprozess liegt die Frequenz des Feldes Im Bereich von MHz, GHz oder kHz.

Rhenotherm bietet folgende Plasmabeschichtungen an:

  • Reinigung (Rheno_Clean)

Die Radikale im Plasma reagieren chemisch mit den Molekülen der verschmutzten Oberfläche.

Ein Beispiel:Bei Verschmutzungen der Oberfläche mit Kohlenwasserstoffen entsteht daraus im Sauerstoffplasma Wasserdampf und Kohlendioxid, beide Materialien sind gasförmig und werden aus der Kammer extrahiert.

  • Oberflächenaktivierung (Rheno_Act)

Die Radikale und Ionen des Plasmas reagieren mit Molekülen der Substratoberfläche.

Ein Beispiel: Im Fall von Kunststoffen werden im Sauerstoffplasma einige Kohlenstoffatome oxidiert und es lagern sich Sauerstoffatome an der Substratoberfläche an.

  • Beschichtung (Rheno_Plasmacoat)

Die Radikale und Ionen des Plasmas reagieren mit den Molekülen der Substratoberfläche. Es entsteht so eine chemische Bindung zwischen der Substratoberfläche und der Schicht. Die Schicht baut sich durch das Anlagern weiterer Radikale und Ionen aus dem Plasma auf.